特許
J-GLOBAL ID：200903023173825817

感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム、レジストパターンの形成方法及び永久レジスト

発明者：
名越 俊昌

名越 俊昌 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-039067
公開番号（公開出願番号）：特開2009-198710
出願日： 2008年02月20日
公開日（公表日）： 2009年09月03日
要約：
【課題】 LDI方式に適用した場合でも優れた感度が得られ、且つ、アンダーカットやオーバーハング等のない良好なレジスト形状を有するレジストパターンが形成可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム、レジストパターンの形成方法及び永久レジストを提供すること。【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明の感光性樹脂組成物は、(a)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する感光性プレポリマー、(b)分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、及び(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(c)光重合開始剤が、(c-1)アシルホスフィンオキサイド系化合物と、(c-2)アクリジン環を有する化合物及び/又は(c-3)オキシムエステルを有する化合物とを含有することを特徴とする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する感光性プレポリマー、(b)分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、及び(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、 前記(c)光重合開始剤が、(c-1)アシルホスフィンオキサイド系化合物と、(c-2)アクリジン環を有する化合物及び/又は(c-3)オキシムエステルを有する化合物と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/029 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/004 ,  H05K 3/28 ,  C08F 2/50 ,  C08F 290/06
FI (7件)：
G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/28 D ,  C08F2/50 ,  C08F290/06
Fターム (82件)：
2H025AA03 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025BC66 ,  2H025BC74 ,  2H025CA03 ,  2H025CA07 ,  2H025CA09 ,  2H025CA28 ,  2H025CA35 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CC08 ,  2H025CC12 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA43 ,  4J011AA05 ,  4J011QB20 ,  4J011QB22 ,  4J011QB23 ,  4J011QB24 ,  4J011SA78 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB031 ,  4J127BB111 ,  4J127BB221 ,  4J127BC021 ,  4J127BD201 ,  4J127BD441 ,  4J127BD451 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BF30Y ,  4J127BF301 ,  4J127BF36Z ,  4J127BF361 ,  4J127BF39Z ,  4J127BF391 ,  4J127BF46Y ,  4J127BF461 ,  4J127BF61Y ,  4J127BF611 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG101 ,  4J127BG16Y ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG28Y ,  4J127BG281 ,  4J127CB281 ,  4J127CB372 ,  4J127CC031 ,  4J127CC112 ,  4J127CC131 ,  4J127EA13 ,  4J127FA17 ,  4J127FA18 ,  4J127FA38 ,  5E314AA27 ,  5E314AA34 ,  5E314BB06 ,  5E314FF06 ,  5E314GG08 ,  5E314GG11
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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