フォトスペーサ用感光性樹脂組成物、スペーサ付き基板及びその製造方法並びに液晶表示装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-349536
公開番号（公開出願番号）：特開2007-156011
出願日： 2005年12月02日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】露光後のレジスト硬度を高めることができ、耐現像液性に優れ、ドット欠けなどの欠陥のない高品位なフォトスペーサを形成可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物及びそれを用いたスペーサ付き基板及びその製造方法並びに液晶表示装置の提供。【解決手段】エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤及びバインダーを少なくとも含有し、二次元状に並んだ空間光変調デバイスを用いて画像データに基づいて350nm〜420nmの範囲内にある単色光又は輝線を変調しながら相対走査することで二次元画像の形成を行う露光方式に使用されるフォトスペーサ用感光性樹脂組成物であって、前記単色光又は輝線の波長におけるODが0.05〜1.2の範囲であり、前記バインダーが架橋性基を含有することを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物及びそれを用いたスペーサ付き基板及びその製造方法並びに液晶表示装置。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤及びバインダーを少なくとも含有し、二次元状に並んだ空間光変調デバイスを用いて画像データに基づいて350nm〜420nmの範囲内にある単色光又は輝線を変調しながら相対走査することで二次元画像の形成を行う露光方式に使用されるフォトスペーサ用感光性樹脂組成物であって、前記単色光又は輝線の波長におけるODが0.05〜1.2の範囲であり、前記バインダーが架橋性基を含有することを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 , G02B 5/20 , G03F 7/027 , G02F 1/133 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/004 505 , G02B5/20 101 , G03F7/027 511 , G02F1/1339 500 , H01L21/30 502R

Fターム (33件)：

2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA13 , 2H025AB17 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC19 , 2H025BC42 , 2H025BC53 , 2H025CA00 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CC12 , 2H025FA03 , 2H025FA10 , 2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB08 , 2H048BB42 , 2H089MA03X , 2H089MA04X , 2H089NA01 , 2H089NA13 , 2H089NA14 , 2H089PA01 , 2H089PA06 , 2H089QA01 , 2H089QA02 , 2H089QA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

露光ヘッド及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-149886 出願人：富士写真フイルム株式会社, 富士写真光機株式会社

審査官引用 (7件)

永久パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-054488 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-128765 出願人：富士写真フイルム株式会社
硬化性組成物、硬化物、カラーフィルタ及び液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-324566 出願人：三菱化学株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

光重合開始剤総合カタログ, 200305

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