特許
J-GLOBAL ID：200903023489581880

液晶表示装置の製造方法

発明者：
朴 庸碩

朴 庸碩 について

, 
孫 鍾禹

孫 鍾禹 について


出願人/特許権者：
エルジー電子株式会社

エルジー電子株式会社 について


代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-143793
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062818
出願日： 1997年06月02日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 製造工程を複雑にすることなく、薄膜を積層する構造で発生するステップカバレッジを改善して信号線の断線を防ぐことが可能な液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】 金属層上に露光機の解象度より小さいスペース幅のラインアンドスペースパターン150を有するマスクを使用してフォトレジストパターンを形成する。このパターンを使用するとフォトレジストパターンの端部の厚みが様々になる。これにより、金属層をエッチングしてソース及びドレイン電極を形成したときの金属層の端部は、緩やかな曲線と緩やかなテーパ形状となる。従って、積層部分での良好なステップカバレッジが得られて、配線不良の問題点を解決することができる。
請求項（抜粋）：
基板上に第1金属層を形成する第1の工程と、前記第1金属層上にフォトレジストを塗布する第2の工程と、露光機の解象度より小さいスペース幅のラインアンドスペースパターンを有するマスクを使用して前記第1金属層上にフォトレジストパターンを形成する第3の工程と、前記フォトレジストパターンに対応する前記第1金属層を形成するために、前記フォトレジストを使用して前記第1金属層をパターニングする第4の工程とを備えた液晶表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343
FI (2件)：
G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (4件)
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