特許
J-GLOBAL ID：200903023590640072

パターンの欠陥検査方法およびその装置

発明者：
前田 俊二

前田 俊二 について

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中山 保彦

中山 保彦 について

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吉田 実

吉田 実 について

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岡 健次

岡 健次 について

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窪田 仁志

窪田 仁志 について


出願人/特許権者：
株式会社ルネサステクノロジ

株式会社ルネサステクノロジ について


代理人 (1件)： 特許業務法人 日東国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-067140
公開番号（公開出願番号）：特開2006-227016
出願日： 2006年03月13日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】 微細なパターンを高い分解能で検出する欠陥検査方法、その装置及び半導体基板を高歩留まりで製造する方法を提供する。 【解決手段】 Xeランプ3、楕円鏡4、マスク5とからなる輪帯状の照明を形成するランプハウス24は、輪帯状の照明光を、XYZステージ2上に載置された微細パターンを形成したウエハ(被検査対象物)1を、コリメータレンズ6、光量調整用フイルタ14及びコンデンサレンズ7を介して、円又は楕円偏光変換素子により円又は楕円偏光させて、対物レンズ9を介して照明し、その反射光をハーフミラー8a、8b、ズームレンズ13を介し、反射光の画像をイメージセンサ12aにより検出する。ステージXYZを移動させ、センサ12aにより走査し画像信号を得る。この画像出力をA/D変換器15aにより変換して基準画像と比較して不一致を欠陥として検出するものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
多数の仮想の点光源から形成された輪帯状の拡散照明光を出射する光源と、該光源から出射された輪帯状の拡散照明光を対物レンズの瞳を通して被検査対象物上のパターンに対して集光して照射する照明光学系と、該照明光学系により集光照射された輪帯状の拡散照明光によって被検査対象物上のパターンから反射して前記対物レンズの瞳内に入射する0次回折光を含む1次または2次の回折光を集光して得られる被検査対象物上のパターンの画像をイメージセンサにより受光してパターンの画像信号に変換する検出光学系とを備えたことを特徴とする被検査対象物上のパターンの検出装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  G01B11/24 K ,  H01L21/66 J
Fターム (94件)：
2F065AA12 ,  2F065AA22 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065AA58 ,  2F065BB02 ,  2F065BB17 ,  2F065BB18 ,  2F065CC01 ,  2F065CC17 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF48 ,  2F065FF49 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG13 ,  2F065GG17 ,  2F065HH02 ,  2F065HH09 ,  2F065HH10 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL06 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL24 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065NN01 ,  2F065NN03 ,  2F065NN15 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ11 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065RR09 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA04 ,  2G051BA08 ,  2G051BA11 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB06 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051ED14 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (10件)
  • 欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-235057   出願人：株式会社ニコン
  • 特開昭60-244029
  • 欠陥検査方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-235056   出願人：株式会社ニコン
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