プローブカード

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： ▲吉▼川俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-210303
公開番号（公開出願番号）：特開2006-349692
出願日： 2006年08月01日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】高温熱試験時あるいはデバイス熱試験時に発生するインターポーザの熱変形による第1基板(メイン基板)と第2基板(サブ基板)の電極間の導通不良の発生を抑制し、しかもその製造歩留まりが向上し、製造工程時間が短くなるインターポーザを備えたプローブカードを提供する。【解決手段】主面に複数の電極を有する第1基板、前記電極の主面に対向し、この対向する主面に複数の電極を有する第2基板、前記第1の基板と前記第2基板との間で前記両基板に平行に配置された、それぞれ独立した複数の支持板と、前記支持板に設けられた、前記支持板から前記第1基板及び前記第2基板に向う接続子とを有し、前記接続子によって前記第1基板上の電極と前記第2基板上の電極とを接続するインターポーザ、および、前記第1基板に一端が取付けられ、多端が前記インターポーザに取付けられて前記第1基板に対する位置決めを行う位置決めピンを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

主面に複数の電極を有する第1基板、前記電極の主面に対向し、この対向する主面に複数の電極を有する第2基板、前記第1の基板と前記第2基板との間で前記両基板に平行に配置された、それぞれ独立した複数の支持板と、前記支持板に設けられた、前記支持板から前記第1基板及び前記第2基板に向う接続子とを有し、前記接続子によって前記第1基板上の電極と前記第2基板上の電極とを接続するインターポーザ、および前記第1基板に一端が取付けられ、他端が前記インターポーザに取付けられて前記第1基板に対する位置決めを行う位置決めピンを備えたことを特徴とするプローブカード

IPC (2件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26

FI (2件)：

G01R1/073 E , G01R31/26 J

Fターム (15件)：

2G003AA07 , 2G003AA10 , 2G003AC03 , 2G003AG04 , 2G003AG12 , 2G003AH07 , 2G011AA15 , 2G011AA16 , 2G011AA21 , 2G011AB01 , 2G011AB06 , 2G011AB07 , 2G011AC14 , 2G011AE03 , 2G011AF04

引用特許：

審査官引用 (5件)

プローブカード及び試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-141799 出願人：株式会社アドバンテスト
テスト・ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-361361 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
接触子及びそれを有する接触モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-355340 出願人：ザウィタカーコーポレーション

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