欠陥検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-078759
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286584
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】検査対象範囲に限定されず容易に信頼性が維持できるようにした欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】顕微鏡8により検査対象となる基板1の画像を拡大してビデオカメラ15で撮像し、画像の比較により基板1の欠陥を検査する装置において、定光量透過光照明部30を用い、基準画像と検査対象画像の登録時における基板1の照度を等しくすることにより、画像比較時での最大輝度が定数で与えられるようにし、この状態でヒストグラムにより画像比較して欠陥を検出するようにしたもの。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象の欠陥部分を、該検査対象の画像と基準画像の比較により検出し、前記検査対象の欠陥を検査する方式の欠陥検査装置において、前記基準画像撮像時と前記検査対象画像撮像時の撮像照度を等しく保つ定光量照明手段と、前記検査対象の画像と前記基準画像の比較対象領域内での画素輝度のバラツキ頻度に基づいて前記欠陥部分を検出するヒストグラム判定手段とを設け、前記ヒストグラム判定手段による前記欠陥部分の検出が、前記定光量照明手段による照明のもとで実行されるように構成したことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N21/956 , G06T1/00 , H01L21/66

FI (6件)：

G01N21/956 A , G06T1/00 305A , G06T1/00 400D , G06T1/00 430G , G06T1/00 460L , H01L21/66 J

Fターム (44件)：

2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051BC01 , 2G051CA04 , 2G051CA12 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA07 , 2G051DA09 , 2G051EA27 , 2G051EB01 , 2G051EC02 , 2G051ED08 , 4M106AA09 , 4M106BA04 , 4M106CA39 , 4M106DB19 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 5B047AA12 , 5B047BA02 , 5B047BB06 , 5B047BC01 , 5B047BC08 , 5B047BC09 , 5B047BC15 , 5B047BC16 , 5B047CA19 , 5B047CB02 , 5B047CB04 , 5B047CB06 , 5B047DC02 , 5B047DC04 , 5B047DC06 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA19 , 5B057DA03 , 5B057DA07 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB09 , 5B057DC23 , 5B057DC33

引用特許：

審査官引用 (7件)

検査装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-347362 出願人：株式会社ニコン
特公平4-031308
特開平1-219548

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