特許
J-GLOBAL ID：200903023938427955

静電保持装置及びそれを用いた搬送装置又はステージ

発明者：
傅 寶▲莱▼

傅 寶▲莱▼ について

, 
生方 玉也

生方 玉也 について


出願人/特許権者：
筑波精工株式会社

筑波精工株式会社 について


代理人 (2件)： 西脇 民雄 ,  西村 公芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-282483
公開番号（公開出願番号）：特開2004-120921
出願日： 2002年09月27日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】比較的絶縁抵抗の低い絶縁材料を用いても、経時的に十分な静電界、そして十分な静電気力を発生できる静電保持装置を提供すること。【解決手段】本発明の静電保持装置100は、電極へ印加する電圧を制御する制御部を備えて保持対象物を静電力により接触的に保持して、又は非接触的に浮上させて保持する静電保持装置である。電極103は、絶縁領域102を介して隣接して配列された一対又は複数対の電極103a及び電極103bとから構成されている。制御部105,305は、電極103a及び電極103bに互いに逆極性の電圧を印加すると共に同一電極要素には正負の逆極性の電圧を交互に印加する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電極へ印加する電圧を制御する制御部を備えて保持対象物を静電力により接触的に保持して、又は非接触的に浮上させて保持する静電保持装置において、 前記電極は、絶縁領域を介して隣接して配列された一対又は複数対の電極A及び電極Bとから構成され、 前記制御部は、前記電極A及び電極Bに互いに逆極性の電圧を印加すると共に、同一電極要素には、正負の逆極性の電圧を交互に印加することを特徴とする静電保持装置。
IPC (3件)：
H02N13/00 ,  B65G49/07 ,  H01L21/68
FI (4件)：
H02N13/00 D ,  B65G49/07 E ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 R
Fターム (8件)：
5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA30 ,  5F031HA12 ,  5F031JA01 ,  5F031JA21 ,  5F031MA27
引用特許：
審査官引用 (4件)
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