レジスト外周除去幅検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-092260
公開番号（公開出願番号）：特開2003-289035
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】レジスト外周除去幅の検査の自動化が可能な検査装置を提供する。【解決手段】被検査基板に塗布されたレジストが被検査基板外周から所定の許容幅で除去されているかを検査するレジスト外周除去幅検査装置であって、被検査基板の外周部を照明する照明手段と、該照明手段により照明された被検査基板の外周部での反射光を検出する光検出手段と、該光検出手段により検出された光強度特性に基づいてレジスト除去幅の適否を判定する判定手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

被検査基板に塗布されたレジストが被検査基板外周から所定の許容幅で除去されているかを検査するレジスト外周除去幅検査装置であって、被検査基板の外周部を照明する照明手段と、該照明手段により照明された被検査基板の外周部での反射光を検出する光検出手段と、該光検出手段により検出された光強度特性に基づいてレジスト除去幅の適否を判定する判定手段と、を備えることを特徴とするレジスト外周除去幅検査装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 577 , H01L 21/30 502 V

Fターム (2件)：

5F046JA15 , 5F046JA22

引用特許：

審査官引用 (4件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-175446 出願人：東京エレクトロン株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-158466 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-369221 出願人：株式会社ニデック

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