放熱部品及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-247527
公開番号（公開出願番号）：特開2008-071845
出願日： 2006年09月13日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：

【課題】静電チャックの素材と放熱部品の熱膨張率の差を少なくして、使用環境下での変形を抑えると共に、高温での使用が可能な放熱部品を安価に提供することこと。【解決手段】セラミックス多孔体にアルミニウム合金を含浸してなる平板状のアルミニウム-セラミックス複合体を接合して3層構造とした放熱部品であって、ウォ-タジェット加工又は放電加工により、表裏を貫通する冷却用の溝を中間層に設けたことを特徴とする放熱部品であり、アルミニウム-セラミックス複合体が高圧鍛造法で製造されたことを特徴とする放熱部品であり、セラミックス多孔体が、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、アルミナの群から選ばれる少なくとも1種以上からなることを特徴とする放熱部品である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

セラミックス多孔体にアルミニウムを主成分とする金属を含浸してなる平板状のアルミニウム-セラミックス複合体を接合して3層構造とした放熱部品であって、ウォ-タジェット加工又は放電加工により、表裏を貫通する冷却用の溝を中間層に設けたことを特徴とする放熱部品。

IPC (4件)：

H01L 21/683 , H01L 21/31 , C04B 41/88 , C23C 16/46

FI (4件)：

H01L21/68 R , H01L21/31 F , C04B41/88 U , C23C16/46

Fターム (14件)：

4K030CA04 , 4K030FA10 , 4K030KA23 , 4K030LA15 , 5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA16 , 5F031HA38 , 5F031MA28 , 5F031PA11 , 5F045DP02 , 5F045EJ03 , 5F045EM05

引用特許：

出願人引用 (1件)

静電チャックデバイス及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-285070 出願人：太平洋セメント株式会社

審査官引用 (6件)

静電チャック接合体
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-042097 出願人：株式会社クリエイティブテクノロジー
静電チャック及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-328494 出願人：日本碍子株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-183536 出願人：株式会社クリエイティブテクノロジー

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