特許
J-GLOBAL ID:200903024061639600
バリア性フィルム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-333137
公開番号(公開出願番号):特開2005-096275
出願日: 2003年09月25日
公開日(公表日): 2005年04月14日
要約:
【課題】 酸素ガス、水蒸気等の透過を阻止するガスバリア性に優れ、更に、そのガスバリア性の性能の低下も認められない極めて有用なバリア性フィルムを提供することである。【解決手段】 少なくとも、基材フィルムと、該基材フィルムの一方の面に設けたバリア性層とからなり、更に、該バリア性層は、2層以上のプラズマ化学気相成長法による珪素酸化物層からなり、更に、該各珪素酸化物層は、その膜中に炭素原子を含有し、かつ、各珪素酸化物層毎に上記の炭素原子の含有量が異なることを特徴とするバリア性フィルムに関するものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
少なくとも、基材フィルムと、該基材フィルムの一方の面に設けたバリア性層とからなり、更に、該バリア性層は、少なくとも2室以上の製膜室を使用し、かつ、各室毎に、少なくとも、有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマ-ガス、酸素ガス、および、不活性ガスを含有する製膜用混合ガス組成物の各ガス成分の混合比を変えて調製した2以上の製膜用混合ガス組成物を使用し、その各製膜用混合ガス組成物を使用して製膜した2層以上のプラズマ化学気相成長法による珪素酸化物層からなり、更に、該各珪素酸化物層は、その膜中に炭素原子を含有し、かつ、各珪素酸化物層毎に炭素含有量が異なることを特徴とするバリア性フィルム。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (27件):
4F100AA20B
, 4F100AK01A
, 4F100AK03A
, 4F100AK41A
, 4F100AK46A
, 4F100AR00B
, 4F100BA02
, 4F100BA44B
, 4F100EH66B
, 4F100EJ38A
, 4F100GB16
, 4F100JD02B
, 4F100JD03
, 4F100JD04
, 4F100YY00B
, 4K030AA06
, 4K030AA09
, 4K030AA14
, 4K030AA16
, 4K030BA44
, 4K030BB12
, 4K030CA07
, 4K030CA17
, 4K030JA01
, 4K030JA06
, 4K030LA01
, 4K030LA11
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (6件)
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