マイクロメカニックな構造エレメント及び相応する製法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：矢野敏雄 , 山崎利臣 , 久野琢也 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト , ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-539252
公開番号（公開出願番号）：特表2004-512190
出願日： 2001年10月06日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

本発明は、第1のドーピングタイプ(p)を備えた基板材料から成る基板(10)と、基板(10)内に設けられたマイクロメカニックな機能組織と、マイクロメカニックな機能組織を少なくとも部分的に覆うカバー層とを有している形式の、マイクロメカニックな構造エレメントを創作する。マイクロメカニックな機能組織は、第2のドーピングタイプ(n)を備えた基板材料から成る範囲(15;15a;15c;730;740;830)を有しており、これらの範囲は少なくとも部分的に中空室(50;50a〜f)により取り囲まれており、かつ、カバー層が基板材料から成る気孔性の層(30)を有している。

請求項（抜粋）：

第1のドーピングタイプ(p)を備えた基板材料から成る基板(10)と、基板(10)内に設けられたマイクロメカニックな機能組織と、マイクロメカニックな機能組織を少なくとも部分的に覆うカバー層とを有している形式の、マイクロメカニックな構造エレメントにおいて、マイクロメカニックな機能組織が、第2のドーピングタイプ(n)を備えた基板材料から成る範囲(15;15a;15c;730;740;830)を有しており、これらの範囲は少なくとも部分的に中空室(50;50a〜f)により取り囲まれており、かつ、カバー層が基板材料から成る気孔性の層(30)を有していることを特徴とする、マイクロメカニックな構造エレメント。

IPC (3件)：

B81B3/00 , B81C1/00 , H01L29/84

FI (4件)：

B81B3/00 , B81C1/00 , H01L29/84 B , H01L29/84 Z

Fターム (20件)：

4M112AA01 , 4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112BA07 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA07 , 4M112DA04 , 4M112DA07 , 4M112DA10 , 4M112DA11 , 4M112DA15 , 4M112EA01 , 4M112EA02 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA07 , 4M112EA10 , 4M112EA11 , 4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (5件)

パイロデテクター装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-125703 出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
微細空洞形成方法及び微細空洞を有する微小装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-332727 出願人：富士通株式会社
力トランスデューサを有する装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-141794 出願人：エスエスアイテクノロジーズインコーポレイテッド

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