特許

J-GLOBAL ID：200903024306455208

多重露光描画方法及び多重露光描画装置

発明者： 奥山 隆志 ,  鷲山 裕之
出願人/特許権者： ペンタックス株式会社
代理人 (1件)： 松浦 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-278031
公開番号（公開出願番号）：特開2003-084444
出願日： 2001年09月13日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】 マトリックス状に配置された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて、パターンデータの画素サイズがどのような大きさのものであってもそのパターンデータに基づいて所定のパターンを適正に多重露光により描画する。【解決手段】 露光ユニットのマトリックス状に配置された変調素子の一方の配列方向に沿ってしかも該配列方向に対して所定の角度だけ傾斜させて該露光ユニット(181、...188;201、...207)を描画面32に対して相対的に移動させる。露光ユニットの変調素子によって描画面上に得られる単位露光領域のサイズの整数倍の距離Aに該サイズより小さい距離aを加えた距離(A+a)だけ露光ユニットが描画面上に対して相対的に移動する度毎に該露光ユニットの変調素子を所定のパターンデータに基づいて選択的に露光作動させる。

請求項（抜粋）：

マトリックス状に配置された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて所定のパターンを描画面上に多重露光により描画する多重露光描画方法であって、前記露光ユニットのマトリックス状に配置された変調素子の一方の配列方向に沿ってしかも該配列方向に対して所定の角度だけ傾斜させて該露光ユニットを前記描画面に対して相対的に移動させる移動段階と、前記露光ユニットの変調素子によって前記描画面上に得られる単位露光領域のサイズの整数倍の距離Aに該サイズより小さい距離aを加えた距離(A+a)だけ前記露光ユニットが該描画面上に対して相対的に移動する度毎に該露光ユニットの変調素子を所定のパターンデータに基づいて選択的に露光作動させる露光段階とより成る多重露光描画方法。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 ,  G02B 26/08

FI (2件)：

G03F 7/20 501 ,  G02B 26/08 E

Fターム (10件)：

2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H097AA12 ,  2H097CA11 ,  2H097GB02 ,  2H097KA03 ,  2H097LA12

引用特許：

審査官引用 (4件)

• マイクロリトグラフィ用マイクロレンズスキャナ及び広フィールド共焦顕微鏡
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-532621   出願人：ジョンソンケニスシー
• 光像形成方法及びその装置、画像形成装置並びにリソグラフィ用露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-148449   出願人：リコーマイクロエレクトロニクス株式会社
• 画像記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-315523   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• マルチビーム記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-323587   出願人：旭光学工業株式会社