特許

J-GLOBAL ID：200903024390397366

感放射線性組成物

発明者： 西 峰雄 ,  中野 浩二 ,  寺本 正史
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-172664
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036262
出願日： 1994年07月25日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】 保存安定性の改良された、ポリビニルフェノール類又はその誘導体を含有する感放射線性組成物を提供する。【構成】 ビニルフェノール類を構成単位成分として含有するポリビニルフェノール類又はその誘導体及び溶媒を含有する感放射線性組成物において、該溶媒がジプロピレングリコールモノアルキルエーテル及び/又はジプロピレングリコールジアルキルエーテルを含有することを特徴とする感放射線性組成物。

請求項（抜粋）：

ビニルフェノール類を構成単位成分として含有するポリビニルフェノール類又はその誘導体及び溶媒を含有する感放射線性組成物において、該溶媒がジプロピレングリコールモノアルキルエーテル及び/又はジプロピレングリコールジアルキルエーテルを含有することを特徴とする感放射線性組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/023 511 ,  C08K 5/06 ,  C08L 25/16 LEK ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 515 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-194444   出願人：三菱化成株式会社
• ネガ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-190059   出願人：三菱化成株式会社
• ネガ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-215803   出願人：三菱化成株式会社
• 輻射線感受性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-077198   出願人：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
• ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-286168   出願人：東京応化工業株式会社