垂直針型プローブカードおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288355
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125645
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】プローブ針の高さ方向のばらつきがある程度大きくても、必要な針圧が得られるように改良された垂直針型プローブカードを提供することを主要な目的とする。【解決手段】プローブ針4の上方部分4aが上側ガイド板5により支持されている。プローブ針4の下方部分4cは、下側ガイド板6によって支持されている。プローブ針4の上方部分4aは、L字型に折曲げられている。上側ガイド板5の上にプリント配線基板7が設けられている。

請求項（抜粋）：

プローブ針の下方部分をICのパッドに垂直にコンタクトさせ、ICからの電気信号をテスターに伝達させる垂直針型プローブカードであって、上方部分と前記下方部分と、これらを結ぶ中間部分とを含み、前記上方部分は、垂直部分と水平部分を有するようにL字型に折曲げられている、プローブ針と、前記プローブ針の前記上方部分を貫通させて、該上方部分を支持する上側ガイド板と、前記上側ガイド板の下に設けられ、前記プローブ針の前記下方部分を貫通させて、該下方部分を支持する下側ガイド板と、前記上側ガイド板の上に、設けられたプリント配線基板と、を備えた垂直針型プローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 E , H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (10件)

縦型プローブカード及びこれに用いるプローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-051053 出願人：日本電子材料株式会社
特開平3-209174
垂直作動式プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-195892 出願人：日本電子材料株式会社

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