電子線装置及びその装置を用いたデバイス製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：社本一夫 , 千葉昭男 , 伊藤茂 , 星野修 , 神田藤博 , 内田博 , 宮前徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-337401
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172428
出願日： 2002年11月21日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】チップの寸法が変化しても、それに対応して隣接する光学系の光軸間の距離を容易に調整可能にした電子線装置を供給する。【解決手段】複数の光学系を一列又は複数列に直線状に配置し、試料W上の複数のチップCの並びの方向と上記光学系OSが配列されたラインA-Aとの成す角度を調整し、前記複数のチップの隣接するチップ間のピッチ寸法と、光学系のチップの配列方向へ投影した寸法がm:n(m、nは整数)の関係を有することにより、試料の評価或いは加工を行うことを特徴とする電子線装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の光学系を一列又は複数列に直線状に配置し、試料の評価或いは加工を行う電子線装置において、試料上の複数のチップの並びの方向と上記光学系が配列されたラインとの成す角度を調整し、前記複数のチップの隣接するチップ間のピッチ寸法と、光学系のチップの配列方向へ投影した寸法がm:n(m、nは整数)の関係を有することを特徴とする電子線装置。

IPC (6件)：

H01L21/027 , G03F7/20 , H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/305 , H01L21/66

FI (6件)：

H01L21/30 541W , G03F7/20 504 , H01J37/04 Z , H01J37/09 A , H01J37/305 B , H01L21/66 C

Fターム (25件)：

2H097CA06 , 2H097CA16 , 2H097GB00 , 2H097LA10 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106DB01 , 4M106DB20 , 4M106DB30 , 4M106DJ06 , 4M106DJ07 , 4M106DJ11 , 5C030AA00 , 5C033BB02 , 5C033BB06 , 5C034BB01 , 5C034BB05 , 5C034BB07 , 5F056AA33 , 5F056AA35 , 5F056CB28 , 5F056CB40 , 5F056EA08

引用特許：

審査官引用 (10件)

ブランキングアパーチャアレイ方式電子ビーム露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-047523 出願人：富士通株式会社
描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-162753 出願人：日本電子株式会社
特開昭63-269520

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