電子放出陰極

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-207625
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093305
出願日： 2001年07月09日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】【課題】 FED(Field Emission Display)に好適な放出開始電圧の低い電子放出陰極を提供する。【解決手段】シリコン基板1上に、平均粒径が例えば、数十nm〜数百nmのダイヤモンドの超微粒子2を配置形成し、カソードアーク法を用いて、sp2結合を有する炭素膜5上にsp3結合を有する炭素膜6が積層された複合炭素膜4を形成し、実質的に仕事関数が非常に低いこの複合炭素膜4によって電子放出性能を向上させて放出開始電圧を低減している。

請求項（抜粋）：