特許
J-GLOBAL ID：200903024772779412
静電気結合を用いたマイクロマシン型振動ジャイロスコープ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 宍戸 嘉一
, 弟子丸 健
, 井野 砂里
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-509029
公開番号（公開出願番号）：特表2006-521560
出願日： 2004年03月03日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】 振動マス同士の機械的結合を必要とせず、静電気により結合する構成の新規で改善されたマイクロマシン型振動ジャイロスコープを提供することにある。【解決手段】 平らな基板上に懸架される2つ以上の共平面可動マスを備えたマイクロマシン型振動ジャイロスコープ。基板内には2つの直交軸線(XおよびY)定められ、かつ基板平面に対して垂直な方向には第三のZ軸線すなわち入力軸線が定められる。X軸線に沿う2つのマスの運動は静電気手段により結合され、これにより、同位相モードの固有共振周波数と、逆位相モードの固有共振周波数とがX軸線に沿って共振すべく互いに分離される。2つのマスが逆位相モードでX軸線に沿って振動すべく駆動されかつデバイスがZ軸線回りの回転を受けるとき、コリオリの力が個々のマスにY軸線方向に差動的に作用して、Y軸線に沿う逆位相運動でディザリングする。
請求項（抜粋）：
第一および第二マスを有し、両マスは、第一軸線に沿う逆位相ディザリング運動と、第三軸線回りの回転により発生されるコリオリの力に応答する、第二軸線に沿う差動運動とが可能な態様で取付けられており、両マスの相対位置の関数である静電気力により両マスを結合する手段を更に有することを特徴とするマイクロマシン型振動ジャイロスコープ。
IPC (4件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, B81B 3/00
, H02N 1/00
G01C19/56
, G01P9/04
, B81B3/00
, H02N1/00
2F105BB08
, 2F105BB13
, 2F105CC11
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
