特許
J-GLOBAL ID：200903024825864140

駆動制御装置及び方法及び露光装置

発明者：
松井 貴靖

松井 貴靖 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-099730
公開番号（公開出願番号）：特開2005-284867
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】制御対象物の駆動制御に際し、対象物を正確な位置、姿勢、速度に制御可能とするために、センサ計測誤差の影響を低減させる。【解決手段】ステージ制御コントローラ10は制御対象23の状態値と制御目標値を入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す。レーザ干渉計6,7は制御対象23の位置を検出し、入力値演算回路3は、制御サイクルの1サイクル毎にレーザ干渉計6,7から複数の検出値を取得し、これら複数の検出値を用いてステージ制御コントローラ10へ入力する状態値を生成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
制御対象の状態値と制御目標値を入力し、該制御対象の制御量を出力する制御サイクルを繰り返す制御手段と、 前記制御対象の位置、速度或いは加速度のいずれかを検出する検出器と、 前記制御サイクルの1サイクル毎に前記検出器から複数の検出値を取得し、該複数の検出値を用いて前記制御手段へ入力する状態値を生成する生成手段とを備えることを特徴とする駆動制御装置。
IPC (1件)：
G05D3/12
FI (1件)：
G05D3/12 S
Fターム (12件)：
5H303AA06 ,  5H303BB01 ,  5H303BB06 ,  5H303CC01 ,  5H303DD01 ,  5H303EE03 ,  5H303FF03 ,  5H303GG13 ,  5H303JJ01 ,  5H303KK01 ,  5H303LL02 ,  5H303MM05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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