特許
J-GLOBAL ID：200903025103202130
ターゲット交換時期判定方法及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066470
公開番号（公開出願番号）：特開2000-265269
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：
【要約】【課題】 条件が相違する複数のスパッタリングを行う場合であっても高い精度で交換時期を判定することができ、コストを低減することができるターゲット交換時期判定方法及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供する。【解決手段】 ターゲットを複数の領域に区画し、各回のスパッタリングの終了毎にその回のスパッタリングに使用された電力を求める。次に、その回のスパッタリングによる前記ターゲットの前記各領域におけるエロージョン深さを前記電力に関連づけて求め、その回のスパッタリングが終了した時点での総エロージョン深さを前記各領域について求める。そして、複数の前記領域のうち少なくとも1の領域の前記総エロージョン深さがその領域に対して予め設定された予定深さに達しているか否かを判断する。
請求項（抜粋）：
ターゲットを複数の領域に区画する工程と、各回のスパッタリングの終了毎にその回のスパッタリングに使用された電力を求める工程と、その回のスパッタリングによる前記ターゲットの前記各領域におけるエロージョン深さを前記電力に関連づけて求める工程と、その回のスパッタリングが終了した時点での総エロージョン深さを前記各領域について求める工程と、複数の前記領域のうち少なくとも1つの領域の前記総エロージョン深さがその領域に対して予め設定された予定深さに達しているか否かを判断する工程と、を有することを特徴とするターゲット交換時期判定方法。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, C23C 14/54
, H01L 21/285
, H01L 21/203
C23C 14/34 U
, C23C 14/54 A
, H01L 21/285 S
, H01L 21/203 S
4K029DC01
, 4K029EA09
, 4M104DD40
, 5F103AA08
, 5F103BB22
, 5F103BB60
, 5F103DD28
, 5F103HH03
, 5F103RR08
, 5F103RR10
