特許
J-GLOBAL ID:200903025195223830
周波数ドメイン干渉測定を利用して光学撮像を実行する方法および装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 倉地 保幸
, 下道 晶久
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-536622
公開番号(公開出願番号):特表2007-510143
出願日: 2004年09月08日
公開日(公表日): 2007年04月19日
要約:
装置及び方法を提供する。特に、少なくとも1つの第1電磁放射線をサンプル用に準備し、少なくとも1つの第2電磁放射線を非反射性リファレンス用に準備してよい。第1放射線及び/又は第2放射線の周波数は経時変化する。第1放射線と関連した少なくとも1つの第3放射線と第2放射線と関連した少なくとも1つの第4放射線の間で干渉を検出する。あるいは代わりに、第1電磁放射線及び/又は第2電磁放射線は、経時変化するスペクトルを有する。スペクトルは、特定の時に多重周波数を含んでいてよい。加えて、第1偏光状態において第3放射線と第4放射線の間で干渉信号を検出することが可能である。更に、第1偏光状態と異なる第2偏光状態において第3放射線と第4放射線の間で更なる干渉信号を検出するのが好ましい。第1電磁放射線及び/又は第2電磁放射線は、その平均周波数が、ミリ秒当たり100テラヘルツより大きい同調速度でほぼ連続的に経時変化するスペクトルを有してよい。
請求項(抜粋):
少なくとも1つの第1電磁放射線をサンプルに、少なくとも1つの第2電磁放射線を非反射性リファレンスに提供する少なくとも1つの第1アレンジメントを備え、ここで、前記少なくとも1つの第1アレンジメントによって提供された放射線の周波数が経時変化し、また、
前記少なくとも1つの第1放射線と関連した少なくとも1つの第3放射線と、前記少なくとも1つの第2放射線と関連した少なくとも1つの第4放射線の間の干渉を検出する少なくとも1つの第2アレンジメントを備える装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/17 620
, G01N21/39
Fターム (11件):
2G059AA05
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059EE09
, 2G059EE12
, 2G059FF02
, 2G059GG01
, 2G059JJ01
, 2G059JJ22
, 2G059KK03
, 2G059KK04
引用特許:
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