特許
J-GLOBAL ID:200903025208093590
平面加工装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-274635
公開番号(公開出願番号):特開2005-034951
出願日: 2003年07月15日
公開日(公表日): 2005年02月10日
要約:
【課題】被加工物の面精度を格段に高くする高剛性の平面加工装置を提供する。【解決手段】加工板が先端に設けられて上下方向に移動する加工スピンドル1と、前記加工板と当接して面加工される被加工物を固定するチャックテーブルが先端に設けられたチャックスピンドル2とを備え、前記加工スピンドルと前記チャックスピンドルとが軸中心を偏心して対向した平面加工装置において、前記加工スピンドルは中心軸と、前記中心軸に対して回転自在として上下方向に移動するハウジング6からなり、前記ハウジングの先端に加工板が設けられた平面加工装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
加工板が先端に設けられて上下方向に移動する加工スピンドルと、前記加工板と当接して面加工される被加工物を固定するチャックテーブルが先端に設けられたチャックスピンドルとを備え、前記加工スピンドルと前記チャックスピンドルとが軸中心を偏心して対向した平面加工装置において、前記加工スピンドルは中心軸と、前記中心軸に対して回転自在として上下方向に移動するハウジングからなり、前記ハウジングの先端に加工板が設けられた平面加工装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (3件):
3C043BA03
, 3C043CC04
, 3C043DD01
引用特許:
出願人引用 (9件)
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ドレッシング装置および方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-236015
出願人:東芝機械株式会社
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外スプライン砥石
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-194789
出願人:アイシン精機株式会社
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研磨装置及び該研磨装置を使用した研磨方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-350612
出願人:スピードファム株式会社
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工作機械
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-149104
出願人:東芝機械株式会社
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平面加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-051042
出願人:株式会社スーパーシリコン研究所, 株式会社ディスコ
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研磨ヘッド
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-050503
出願人:三菱マテリアルシリコン株式会社, 株式会社ゼビオス
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特開昭62-255064
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3本の円柱に取り付けられるプラットホームアセンブリを含む研磨装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-512667
出願人:スピードファム-アイピーイーシーコーポレイション
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特開平4-101769
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審査官引用 (8件)
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ドレッシング装置および方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-236015
出願人:東芝機械株式会社
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外スプライン砥石
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-194789
出願人:アイシン精機株式会社
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研磨装置及び該研磨装置を使用した研磨方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-350612
出願人:スピードファム株式会社
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工作機械
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-149104
出願人:東芝機械株式会社
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平面加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-051042
出願人:株式会社スーパーシリコン研究所, 株式会社ディスコ
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研磨ヘッド
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-050503
出願人:三菱マテリアルシリコン株式会社, 株式会社ゼビオス
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特開昭62-255064
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3本の円柱に取り付けられるプラットホームアセンブリを含む研磨装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-512667
出願人:スピードファム-アイピーイーシーコーポレイション
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