特許
J-GLOBAL ID：200903025241209006
単結晶の製造装置および製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-083648
公開番号（公開出願番号）：特開2007-254233
出願日： 2006年03月24日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：
【課題】多結晶の成長やエピフロントでの融液の取り込みがなく、多形制御に対する自由度の高い手法によって、液相エピタキシー法により高品質のバルク単結晶を製造する。【解決手段】単結晶原料の融液を収容する坩堝を、融液保持部3と、スリットを有し、冷却機構を備えた、導電性材質から構成された第1の側壁部(低温壁)1と、冷却機構を有しない第2の側壁部(高温壁)2とから構成する。側壁部の外周に配置した通電コイル8に高周波電流を通電すると、原料が誘導加熱されてて融液となり、融液はローレンツ力によって隆起すると電磁攪拌される。基板6は、図示のように上方から挿入される結晶保持具5の先端に取付けてもよく(引き上げ法)、或いは融液保持部3の上面を平面にして、この上面に取付けてもよい。その場合は融液保持部3を単結晶の成長につれて下方に移動させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
単結晶原料の融液を収容する坩堝と、単結晶成長用基板の装着が可能な、上方から坩堝内に挿入された結晶保持具と、坩堝の外周に配置された通電コイルと、これらを収容するためのチャンバーとを備えた単結晶製造装置であって、前記坩堝が、
・融液保持部と、
・絶縁機能を果たすスリットを有し、冷却機構を備えた、導電性材質から構成された第1の側壁部と、
・冷却機構を有しない第2の側壁部と、
を備え、第1の側壁部と第2の側壁部は異なる高さに隣接して配置され、それらが一体となって坩堝の側壁を構成し、前記コイルに通電することにより融液にローレンツ力を発生させて融液を隆起させるとともに融液を誘導加熱することができることを特徴とする、単結晶製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
4G077AA02
, 4G077BE08
, 4G077BE11
, 4G077BE13
, 4G077CG01
, 4G077EG15
, 4G077EG19
, 4G077EG25
, 4G077EJ01
, 4G077HA12
, 4G077QA01
, 4G077QA52
, 4G077QA54
, 4G077QA56
, 4G077QA62
