追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の復帰方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：高矢諭 , 松山圭佑 , 牧野剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-162295
公開番号（公開出願番号）：特開2009-002728
出願日： 2007年06月20日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：

【課題】レーザ光が遮断される等の理由により追尾できなくなったときに追尾を自動的に復帰可能とする、あるいは、測定開始時に初期調整作業の自動化を可能とする追尾式レーザ干渉計を提供する。【解決手段】被測定体であるレトロリフレクタ300に向けて照射し、該レトロリフレクタ300によって戻り方向に反射されたレーザビーム102の干渉を利用してレトロリフレクタ300の変位を検出すると共に、前記レーザビーム102の光軸の位置の変化を用いて2軸回転機構240によりトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計において、前記レーザビーム102の光軸を含む扇形状であって、前記2軸回転機構のうち該扇形の中心軸と直交する軸の回転動作に連動可能な、扇状レーザ光602を出射する光照射体600と、前記レトロリフレクタ300又は光照射体600と特定の位置関係を有して、該扇状レーザ光を受光する受光体620と、を備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被測定体であるレトロリフレクタに向けて照射し、該レトロリフレクタによって戻り方向に反射されたレーザビームの干渉を利用してレトロリフレクタの変位を検出すると共に、前記レーザビームの光軸の位置の変化を用いて2軸回転機構によりトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計において、前記レーザビームの光軸を含む扇形状であって、前記2軸回転機構のうち該扇形の中心軸と直交する軸の回転動作に連動可能な、扇状レーザ光を出射する光照射体と、前記レトロリフレクタ又は光照射体と特定の位置関係を有して、該扇状レーザ光を受光する受光体と、を備えることを特徴とする追尾式レーザ干渉計。

IPC (3件)：

G01B 9/02 , G01S 17/66 , G01S 7/48

FI (3件)：

G01B9/02 , G01S17/66 , G01S7/48 A

Fターム (40件)：

2F064AA01 , 2F064AA06 , 2F064AA15 , 2F064CC10 , 2F064DD01 , 2F064DD02 , 2F064DD05 , 2F064EE01 , 2F064EE10 , 2F064FF01 , 2F064FF05 , 2F064FF06 , 2F064GG12 , 2F064GG15 , 2F064GG22 , 2F064GG23 , 2F064GG38 , 2F064HH05 , 2F064HH08 , 5J084AA04 , 5J084AA06 , 5J084AA10 , 5J084AD08 , 5J084BA03 , 5J084BA16 , 5J084BA33 , 5J084BA36 , 5J084BA48 , 5J084BA56 , 5J084BA57 , 5J084BB02 , 5J084BB13 , 5J084BB14 , 5J084BB15 , 5J084BB16 , 5J084BB28 , 5J084DA01 , 5J084DA02 , 5J084DA07 , 5J084EA23

引用特許：

出願人引用 (3件)

追尾式レーザ干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-175778 出願人：株式会社ミツトヨ
特許第2603429号公報
米国特許第6147748号公報

審査官引用 (8件)

高速追尾式レーザ干渉測長器
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-009097 出願人：工業技術院長, 株式会社東京精密
ターゲットマークを自動検索する方法、ターゲットマークを自動検索する装置、受信ユニット、測地計および測地システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-013986 出願人：ライカジオシステムズアクチエンゲゼルシャフト
地上測量機器の標的探査のための方法と装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-216147 出願人：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

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