特許
J-GLOBAL ID：200903025484085682

成膜装置、及び光学部材の製造方法

発明者：
秋山 貴之

秋山 貴之 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-319149
公開番号（公開出願番号）：特開2003-247068
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 光学モニタとして可視域光学モニタのみを有する従来の成膜装置で生じていた種々の不都合のうちの少なくとも1つを解消する。【解決手段】 赤外域の実用波長域で使用される光学部材は、基体11と、基体11上に成膜された複数層からなる光学薄膜とを有する。成膜装置は、可視域内の所定波長域の分光特性を測定する光学モニタ4と、赤外域内の所定波長域の分光特性を測定する光学モニタ5と、前記実用波長域の分光特性を測定する実用波長域光学モニタとを備える。モニタ4,5のいずれかで測定された分光特性に基づいて、成膜された各層の膜厚を決定し、その膜厚に基づいて未成膜の層の膜厚設定値を調整する。実用波長域光学モニタで測定された光学薄膜の成膜途中及び成膜終了後の分光特性を、次の基体11上に次の光学薄膜を成膜する際に反映させる。
請求項（抜粋）：
基体上に複数層からなる膜を成膜する成膜装置において、成膜された層による第1の波長域の分光特性を測定する第1の光学モニタと、成膜された層による第2の波長域の分光特性を測定する第2の光学モニタと、を備えたことを特徴とする成膜装置。
IPC (3件)：
C23C 14/54 ,  C23C 14/06 ,  G02B 1/10
FI (4件)：
C23C 14/54 C ,  C23C 14/54 E ,  C23C 14/06 P ,  G02B 1/10 Z
Fターム (9件)：
2K009DD04 ,  2K009DD09 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029DA00 ,  4K029DA03 ,  4K029EA00 ,  4K029EA01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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