多環式共重合体組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-558145
公開番号（公開出願番号）：特表2002-519487
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2002年07月02日
要約：

【要約】少なくとも1種類の多環式モノマーと少なくとも1種類のアクリル系モノマーとから重合された繰返し単位を含有する共重合体組成物が開示される。この共重合体は第VIII族の遷移金属触媒の存在下における付加重合によって形成される。この共重合体は、ポリマー主鎖からぶら下がっているヒドロカルビルおよび/または官能性置換基を含有する。ある実施態様においては、この共重合体は酸不安定性基を含有するエステルペンダント置換基を含有する。この共重合体は、感結像性放射線性であるレジスト材料として有用である。

請求項（抜粋）：

式【化1】ここでR1〜R4は、独立に、-(CH2)nC(O)OR5、-(CH2)n-C(O)OR5、-(CH2)n-OR5、-(CH2)n-OC(O)R5、-(CH2)n-C(O)R5、-(CH2)n-OC(O)OR5、および-(CH2)nC(O)OR6から選択される基を表し、ここでmは0〜5の整数を表し、nは独立に0〜10の整数を表し、R5は独立に水素、直鎖状および分岐状(C1〜C10)アルキル、直鎖状および分岐状(C2〜C10)アルケニル、直鎖状および分岐状(C2〜C10)アルキニル、(C5〜C12)シクロアルキル、(C6〜C14)アリール、(C7〜C24)アラルキル、およびこれらのハロゲン化置換基を表し、R6は酸不安定性部分を表し、R8は水素またはメチルを表し、およびR9は独立に、水素、酸不安定性基、直鎖状および分岐状(C1〜C10)アルキル、直鎖状および分岐状(C2〜C10)アルケニル、直鎖状および分岐状(C2〜C10)アルキニル、(C5〜C12)シクロアルキル、(C6〜C14)アリール、(C7〜C24)アラルキル、およびこれらのハロゲン化置換基から選択される、の繰返し単位からなる共重合体組成物。

IPC (3件)：

C08F232/08 , C08F220/00 , G03F 7/039 601

FI (3件)：

C08F232/08 , C08F220/00 , G03F 7/039 601

Fターム (42件)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB08 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB60 , 2H025FA17 , 4J100AJ02Q , 4J100AL03Q , 4J100AL04Q , 4J100AL05Q , 4J100AL08Q , 4J100AL75Q , 4J100AR11P , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA16P , 4J100BA20P , 4J100BA22P , 4J100BA72Q , 4J100BB00Q , 4J100BC02Q , 4J100BC03Q , 4J100BC04Q , 4J100BC08P , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC43Q , 4J100BC53P , 4J100BC53Q , 4J100BC58P , 4J100BC58Q , 4J100CA04 , 4J100JA32 , 4J100JA36

引用特許：

審査官引用 (8件)

メタクリル酸メチル共重合体
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-034890 出願人：株式会社クラレ
特公昭39-029192
特開昭63-210114

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