特許
J-GLOBAL ID：200903025692865535
硬質炭素膜および表面弾性波素子用基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253197
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203822
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：
【要約】【課題】 SAWデバイスに用いた場合に伝播損失を低くすることができ、且つ、低コストで製造できる硬質炭素膜および表面弾性波素子用基板を提供すること。【解決手段】 グラファイト状ダイヤモンド3aとカーボンクラスター3bの混合膜を含み、且つ、該混合膜中の結晶構造が連続的である硬質炭素膜を形成する。
請求項（抜粋）：
グラファイト状ダイヤモンドとカーボンクラスターの混合膜からなり、且つ、該混合膜中の結晶構造が連続的であることを特徴とする硬質炭素膜。
IPC (3件)：
C01B 31/02 101
, C23C 16/27
, H03H 9/25
C01B 31/02 101 Z
, C23C 16/27
, H03H 9/25 C
