イットリウムを使用する硬質材料コーティングおよびその蒸着方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀富士弥 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-532279
公開番号（公開出願番号）：特表平11-505573
出願日： 1997年03月11日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】高温における耐摩耗性を増大するために少量のイットリウムを添加した三元硬質材料層について説明する。

請求項（抜粋）：

カソードアーク蒸発またはスパッタリング、またはスパッタリング/カソードアーク蒸発またはスパッタリング/低電圧電子ビーム蒸発または低電圧蒸発/カソードアーク蒸発の組合せプロセスによって製造され、窒化物または浸炭窒化物からなる二元、三元または四元硬質材料層から構成され、その層が約0.1〜4at%のイットリウムを含むことを特徴とする、硬質材料コーティング。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-224676
基体表面被覆方法及び被覆部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-171712 出願人：オリエンタルエンヂニアリング株式会社
被覆硬質合金
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-025918 出願人：日立ツール株式会社

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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