特許
J-GLOBAL ID:200903025797221340
センサの製造
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 弘男
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-538225
公開番号(公開出願番号):特表2002-507743
出願日: 1999年03月22日
公開日(公表日): 2002年03月12日
要約:
【要約】一群のセンサの製造方法が記載され、その方法は、複数の導電性トラックが形成された基板を提供する工程と、導電性トラックが単一の電気回路の一部となるように、1つのプロセス中で基板および導電性トラック上に能動的センサ材料を電気化学的に蒸着する工程と、基板の所定位置から、蒸着された能動的センサ材料を除去する工程と、複数のセンサユニットを作るために基板を2次的分割する工程とを有する。
請求項(抜粋):
一群のセンサの製造方法において、 複数の導電性トラックが形成された基板を提供する工程と、 導電性トラックが単一の電気回路の一部となるように、1つのプロセス中で基板および導電性トラック上に能動的センサ材料を電気化学的に蒸着する工程と、 基板上の所定位置から、蒸着された能動的センサ材料を除去する工程と、 複数のセンサユニットを作るために基板を2次的分割する工程とを有するセンサの製造方法。
FI (2件):
G01N 27/12 C
, G01N 27/12 B
Fターム (16件):
2G046AA01
, 2G046BA01
, 2G046BB02
, 2G046BC03
, 2G046BE03
, 2G046DB05
, 2G046EA02
, 2G046EA08
, 2G046EA09
, 2G046FA01
, 2G046FE03
, 2G046FE10
, 2G046FE12
, 2G046FE31
, 2G046FE38
, 2G046FE39
引用特許:
審査官引用 (14件)
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特開昭59-202053
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半導体有機ポリマーの堆積方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-008019
出願人:アロマスキャンパブリックリミテッドカンパニー
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分離可能な支持体上に析出体を製造する方法および支持体上に製造された析出体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-072437
出願人:コミツサリアタレネルジーアトミーク
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特表平6-509869
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特開平2-248850
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特開昭52-085889
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特開昭59-202053
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特表平6-509869
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特開平2-248850
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特開昭52-085889
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酸化鉄含有材料の直接還元法
公報種別:公表公報
出願番号:特願平8-502631
出願人:ヴォエストアルピーネインデュストリーアンラーゲンバウゲーエムベーハー, ブリファーインターナショナルリミテッド
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特表平6-509869
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特開平2-291951
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センサ素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-207402
出願人:株式会社フジクラ
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