特許
J-GLOBAL ID:200903025797221340

センサの製造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 弘男
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-538225
公開番号(公開出願番号):特表2002-507743
出願日: 1999年03月22日
公開日(公表日): 2002年03月12日
要約:
【要約】一群のセンサの製造方法が記載され、その方法は、複数の導電性トラックが形成された基板を提供する工程と、導電性トラックが単一の電気回路の一部となるように、1つのプロセス中で基板および導電性トラック上に能動的センサ材料を電気化学的に蒸着する工程と、基板の所定位置から、蒸着された能動的センサ材料を除去する工程と、複数のセンサユニットを作るために基板を2次的分割する工程とを有する。
請求項(抜粋):
一群のセンサの製造方法において、 複数の導電性トラックが形成された基板を提供する工程と、 導電性トラックが単一の電気回路の一部となるように、1つのプロセス中で基板および導電性トラック上に能動的センサ材料を電気化学的に蒸着する工程と、 基板上の所定位置から、蒸着された能動的センサ材料を除去する工程と、 複数のセンサユニットを作るために基板を2次的分割する工程とを有するセンサの製造方法。
FI (2件):
G01N 27/12 C ,  G01N 27/12 B
Fターム (16件):
2G046AA01 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046BC03 ,  2G046BE03 ,  2G046DB05 ,  2G046EA02 ,  2G046EA08 ,  2G046EA09 ,  2G046FA01 ,  2G046FE03 ,  2G046FE10 ,  2G046FE12 ,  2G046FE31 ,  2G046FE38 ,  2G046FE39
引用特許:
審査官引用 (14件)
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