オニウム塩及びその潜在的酸としての使用

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：津国肇 , 篠田文雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-548218
公開番号（公開出願番号）：特表2004-526984
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

(a)酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物;及び(b)感光性酸供与体として、(Ia)、(Ib)、(Ic)、(IIa)、(IIb)又は(IIc)〔式中、R1は、例えば、C1〜C5アルキル、C3〜C30シクロアルキル、C1〜C5ハロアルキル、C2〜C12アルケニル、C4〜C8シクロアルケニル、C6〜C12ビシクロアルケニル、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、又はヘテロアリール基であり;これらの全ては、非置換であるか、又は置換されており;場合により幾つかの置換基は、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の更なる置換基と、又はフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル若しくはヘテロアリール環の炭素原子のうちの1個と、5員若しくは6員環を形成し;R′1は、例えば、C1〜C12アルキレン、C3〜C30シクロアルキレン、フェニレン、ナフチレン、ジフェニレン、又はオキシジフェニレンであり、ここでこれらの基は、非置換であるか、又は置換されており;A及びBは、例えば、直接結合であり;Ar1及びAr2は、互いに独立して、例えば、フェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル、又はヘテロアリールであり、これらの全ては、非置換であるか、又は置換されており;Ar3、Ar4及びAr5は、例えば、Ar1及びAr2で示された意味のうちの1個を有し、;Yは、例えば、C3〜C30シクロアルキレン、フェニレン、ナフチレン、ジフェニレン、又はオキシジフェニレンであり、これらの全ては、非置換であるか、又は置換されている〕で示される少なくとも1種の化合物を含む、化学増幅型フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(a)酸の作用で硬化する化合物、又は酸の作用でその溶解度が増加する化合物;及び (b)感光性酸供与体として、(Ia)、(Ib)、(Ic)、(IIa)、(IIb)又は(IIc):

IPC (11件)：

G03F7/004 , C07C25/00 , C07C305/04 , C07C305/12 , C07C305/18 , C07C305/20 , C07C305/22 , C07C305/24 , C07C381/12 , G02B5/20 , H01L21/027

FI (11件)：

G03F7/004 503A , C07C25/00 , C07C305/04 , C07C305/12 , C07C305/18 , C07C305/20 , C07C305/22 , C07C305/24 , C07C381/12 , G02B5/20 101 , H01L21/30 502R

Fターム (23件)：

2H025AA01 , 2H025AA11 , 2H025AB01 , 2H025AB13 , 2H025AB14 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H048BA02 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 4H006AA01 , 4H006AB92 , 4H006TA04

引用特許：

審査官引用 (8件)

エネルギー線遮蔽物含有樹脂のエネルギー線硬化を可能にする新規樹脂硬化方法とその組成物、成形物、及び成形方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-283867 出願人：三菱重工業株式会社
ポリイオン性ポリマー化合物、その製造方法及び光開始剤としての使用
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-271212 出願人：アラン・ヴァレー, ミシュル・アルマン, グザヴィエ・オリヴラン, クリストフ・ミショト
フッ素化されたイオン性スルホニルイミド及びスルホニルメチリド、それらの製造方法並びに光開始剤としての使用
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-271624 出願人：アラン・ヴァレー, ミシュル・アルマン, グザヴィエ・オリヴラン, クリストフ・ミショト

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