成膜方法及び成膜装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-042851
公開番号（公開出願番号）：特開2002-322556
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】複数の機能領域を有する有機化合物膜の成膜方法及び成膜装置を提供する。【解決手段】成膜室301の内部に複数の蒸発源(302a、302b)を備え、それぞれの有機化合物からなる機能領域を連続的に形成し、さらに機能領域間の界面には混合領域を形成することができる。また、このような成膜室301に光源304を設けて、陽極表面に光を照射しながら蒸着を行うことにより、緻密な有機化合物膜を形成することができる。

請求項（抜粋）：

電極上に第一の有機化合物からなる第一の機能領域を形成し、前記第一の機能領域上に前記第一の有機化合物と第二の有機化合物からなる混合領域を形成し、前記混合領域上に前記第二の有機化合物からなる第二の機能領域を形成する成膜方法であって、前記第一の機能領域、第二の機能領域及び混合領域は、同一の成膜室で光を照射しつつ形成されることを特徴とする成膜方法。

IPC (5件)：

C23C 14/12 , G09F 9/00 342 , H05B 33/10 , H05B 33/12 , H05B 33/14

FI (5件)：

C23C 14/12 , G09F 9/00 342 Z , H05B 33/10 , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A

Fターム (28件)：

3K007AB04 , 3K007AB06 , 3K007AB11 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB01 , 3K007BB06 , 3K007BB07 , 3K007DB03 , 3K007EA01 , 3K007FA01 , 3K007FA02 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029CA00 , 4K029CA01 , 4K029DB14 , 5G435AA04 , 5G435AA14 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435CC09 , 5G435CC12 , 5G435GG12 , 5G435HH01 , 5G435HH20 , 5G435KK05 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平4-357694
特開平2-081033
光誘起蒸着重合法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-177700 出願人：日本原子力研究所

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