成膜装置及び成膜装置用噴射弁

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (2件)：西村竜平 , 佐藤明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-290672
公開番号（公開出願番号）：特開2009-114521
出願日： 2007年11月08日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：

【課題】膜品質を担保でき、しかも装置の小型化や低コスト化を図ることができ、さらに、大面積の基板2であっても均一な膜をスループット良く成膜することができる。【解決手段】基板2を内部に収容する成膜室3と、その基板2から所定距離離間させて配置され、成膜原料を前記成膜室3内に液体状態で噴射する噴射弁4と、を備えてなり、噴射弁4に設けられた噴射孔Hの横断面形状が、短手方向にはほぼ一定寸法であるとともに、長手方向には入口から出口に近づくほど拡開し、出口近傍において少なくとも帯状をなすように構成され、噴射孔Hの拡開角度θOが、180°以下であり、Hの短手方向の側面H1とその側面H1に連続する噴射弁内面41B1とのなす角度が、0°より大きく90°未満である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を内部に収容する成膜室と、その基板から所定距離離間させて配置され、成膜原料を前記成膜室内に液体状態で噴射する噴射弁と、を備えてなり、前記噴射弁に設けられた噴射孔の横断面形状が、短手方向にはほぼ一定寸法であるとともに、長手方向には入口から出口に近づくほど拡開し、出口近傍において少なくとも帯状をなすように構成され、前記噴射孔の拡開角度が、180°以下であり、前記噴射孔の短手方向の側面と、当該側面に連続する噴射弁の内面とのなす角度が、0°より大きく90°未満である成膜装置。

IPC (1件)：

C23C 16/448

FI (1件)：

C23C16/448

Fターム (8件)：

4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030AA14 , 4K030BA42 , 4K030EA01 , 4K030EA04 , 4K030EA05 , 4K030FA10

引用特許：

出願人引用 (2件)

液体材料気化供給装置、薄膜堆積装置および薄膜堆積装置への液体材料気化供給方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-364741 出願人：千田二郎, 株式会社堀場製作所, 株式会社エステック
成膜装置及び成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-333346 出願人：学校法人同志社, 株式会社堀場製作所, 株式会社堀場エステック

審査官引用 (1件)

成膜装置及び成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-333346 出願人：学校法人同志社, 株式会社堀場製作所, 株式会社堀場エステック

引用文献：

出願人引用 (2件)

審査官引用 (2件)

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