高周波電源装置および高周波電力供給方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：渡辺征一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-314962
公開番号（公開出願番号）：特開2008-130398
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：

【課題】プラズマ生成に有効な高周波電力を、精度よく、短時間で制御して供給できる高周波電源装置および高周波電力供給方法を提供する。【解決手段】プラズマ処理室5へ、第1の周波数f1の高周波電力を供給する第1高周波電源部11および第2の周波数f2(f1>f2)の高周波電力を供給する第2高周波電源部71を、少なくとも備え、第1高周波電源部11に、第1の周波数の高周波電力を発振する、周波数可変の第1高周波発振部16と、第1高周波発振部の出力を受けて、その電力を増幅する第1電力増幅部15と、反射波をヘテロダイン検波するヘテロダイン検波部13と、ヘテロダイン検波部で検波された信号および進行波信号を受信し、第1高周波発振部の発振周波数および第1電力増幅部の出力を制御する第1制御部14とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマ処理室へ、第1の周波数の高周波電力を供給する第1高周波電源部および前記第1の周波数より低い第2の周波数の高周波電力を供給する第2高周波電源部を、少なくとも、備える高周波電源装置であって、前記第1高周波電源部に、前記第1の周波数の高周波電力を発振する、周波数可変の第1高周波発振部と、前記第1高周波発振部の出力を受けて、その電力を増幅する第1電力増幅部と、前記プラズマ処理室からの反射波および前記第1電力増幅部からの進行波が入力される第1方向性結合器と、前記第1方向性結合器からの反射波信号をヘテロダイン検波する反射波第1ヘテロダイン検波部と、前記反射波第1ヘテロダイン検波部で検波された信号および前記第1方向性結合器からの進行波信号を受信し、前記第1高周波発振部の発振周波数および前記第1電力増幅部の出力を制御する第1制御部とを備えることを特徴とする、高周波電源装置。

IPC (2件)：

H05H 1/46 , H01L 21/306

FI (3件)：

H05H1/46 R , H05H1/46 M , H01L21/302 101B

Fターム (8件)：

5F004AA01 , 5F004AA16 , 5F004BA04 , 5F004BA09 , 5F004BB11 , 5F004CA03 , 5F004CA08 , 5F004EB01

引用特許：

出願人引用 (2件)

放電プラズマ発生用高周波電源装置及び半導体製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-318998 出願人：パール工業株式会社
高周波電源及びその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-375961 出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東京ハイパワー

審査官引用 (6件)

特許第6791274号
高周波電源及びその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-375961 出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社東京ハイパワー
プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-241313 出願人：東京エレクトロン株式会社

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