欠陥検査装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 青木博昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-085393
公開番号（公開出願番号）：特開2008-241612
出願日： 2007年03月28日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：

【課題】検査対象物の上下両側の検査面を検査する場合でも、欠陥検査を迅速に且つ精度良く行うことができる欠陥検査装置及び方法を提供する。【解決手段】欠陥検査装置1は、検査対象物2が載置される支持板3と、この支持板3の左右両側に配置され、支持板3上に載置された検査対象物2を搬送する搬送ユニット4A,4Bと、支持板3の上方及び下方に配置され、検査対象物2の上下両側の検査面にレーザ光を照射し各検査面の反射光を受光することにより、検査対象物2の両検査面までの距離をそれぞれ測定する二次元レーザ変位計5A,5Bとを備えている。支持板3の中央部には、二次元レーザ変位計5Bからのレーザ光を透過させるための検査用開口部6が設けられている。検査対象物2が検査用開口部6(検査領域X)まで搬送されると、二次元レーザ変位計5A,5Bにより検査対象物2の両検査面までの距離を同時に測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の検査対象物の表面状態の欠陥を連続的に検査するための欠陥検査装置であって、前記検査対象物が載置される支持部材と、前記支持部材上に載置された前記検査対象物を前記支持部材の検査領域まで搬送する搬送手段と、前記検査領域を挟んで対向するように上下に配置され、前記検査対象物の上下両側の検査面にレーザ光を照射し前記各検査面からの反射光を受光することにより、前記各検査面までの距離をそれぞれ測定する1対の二次元レーザ変位計と、前記1対の二次元レーザ変位計の測定結果に基づいて、前記検査対象物の表面状態の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/892 , G01B 11/30

FI (2件)：

G01N21/892 Z , G01B11/30 A

Fターム (27件)：

2F065AA06 , 2F065AA30 , 2F065AA49 , 2F065AA53 , 2F065AA61 , 2F065BB05 , 2F065FF09 , 2F065FF23 , 2F065FF61 , 2F065GG06 , 2F065HH05 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL08 , 2F065MM03 , 2F065PP16 , 2F065PP22 , 2G051AA07 , 2G051AB07 , 2G051AB08 , 2G051AB10 , 2G051AC15 , 2G051BA10 , 2G051BC05 , 2G051CA04 , 2G051CB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

円柱状物体の位置測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-253680 出願人：日立機電工業株式会社

審査官引用 (12件)

検査対象物の外観検査方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-044616 出願人：エヌ・ティ・ティ・ファネット・システムズ株式会社
特開昭63-206602
特開昭64-066550

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