特許

J-GLOBAL ID：200903026312569242

ダイヤモンド膜被覆部材およびその製造方法

発明者： 風早 克夫 ,  松本 寧 ,  関 裕一郎 ,  今井 貴浩
出願人/特許権者： 株式会社アライドマテリアル
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-299994
公開番号（公開出願番号）：特開2006-138011
出願日： 2005年10月14日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：

【課題】 CVD法などにより基材上にダイヤモンド膜が被覆されたダイヤモンド膜被覆部材で、耐摩耗性に加え耐溶着性に優れたダイヤモンド膜被覆部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基材の表面にダイヤモンド膜が被覆されたダイヤモンド膜被覆部材であって、前記ダイヤモンド膜の表面を構成するダイヤモンド結晶粒子の平均粒径が2μm以下、表面粗さRaが0.4μm以下で、前記ダイヤモンド結晶粒子が研磨されて曲面になっていることを特徴とする。また、ダイヤモンド膜被覆部材を製造する方法は、ダイヤモンド膜の断面において微細ダイヤモンドが前記ダイヤモンド膜の成長方向に細長く配列し、かつその短径が0.001μm以上0.08μm以下の構造を有するダイヤモンド膜の表面を、粘弾性流動研磨法または弾性を有する砥粒複合体および/または角のない微細砥粒を用いた投射式研磨法により研磨することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材の表面にダイヤモンド膜が被覆されたダイヤモンド膜被覆部材であって、 前記ダイヤモンド膜の表面を構成するダイヤモンド結晶粒子の平均粒径が2μm以下、表面粗さRaが0.4μm以下で、前記ダイヤモンド結晶粒子が研磨されて曲面になっていることを特徴とするダイヤモンド膜被覆部材。

IPC (2件)：

C23C 16/27 ,  B24B 9/16

FI (2件)：

C23C16/27 ,  B24B9/16

Fターム (10件)：

3C049AA07 ,  3C049CA02 ,  3C049CA04 ,  3C049CB01 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030CA03 ,  4K030FA10 ,  4K030LA21

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ダイヤモンドコーティング切削工具及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-239071   出願人：大阪ダイヤモンド工業株式会社
• ダイヤモンド被覆工具およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-318758   出願人：オーエスジー株式会社

審査官引用 (4件)

• 表面弾性波素子用ダイヤモンド基板及び表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-310370   出願人：住友電気工業株式会社
• ダイヤモンドウエハ-とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-099812   出願人：住友電気工業株式会社
• 超硬質膜被覆部材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-254954   出願人：大阪ダイヤモンド工業株式会社
• 靭性に優れた気相合成ダイヤモンド切削工具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-086528   出願人：株式会社神戸製鋼所