特許
J-GLOBAL ID：200903026322736457

膜厚測定方法および装置

発明者：
藤原 成章

藤原 成章 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-060867
公開番号（公開出願番号）：特開2005-249602
出願日： 2004年03月04日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】カラーフィルタのように特定波長域の光を選択的に透過する透明薄膜であってもその膜厚を正確に測定することができる膜厚測定技術を提供する。【解決手段】まず、所定膜厚を有する無色の透明薄膜を基板上に形成した試料の分光反射率として算定される理論分光反射率を異なる膜厚ごとに複数取得する。次に、測定対象としているカラーフィルタの分光透過率を取得して、その分光透過率のうちの所定透過率以上となる波長域を測定波長域として選定する。また、異なる膜厚ごとに算定された複数の理論分光反射率を分光透過率によって補正し補正後理論分光反射率を求めておく。そして、基板上に測定対象のカラーフィルタが形成された試料に光を照射し、その試料から反射された光を分光して分光反射率を実測する。得られた実測分光反射率と補正後理論分光反射率とを比較してカラーフィルタの膜厚を算出する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板上に透明薄膜が形成された試料に光を照射して得られた分光反射率から前記透明薄膜の膜厚を測定する膜厚測定方法であって、 前記透明薄膜の分光透過率を取得する分光透過率取得工程と、 前記試料に光を照射し、前記試料から反射された反射光を分光して分光反射率を実測する分光反射率測定工程と、 所定膜厚を有する透明薄膜を基板上に形成した試料の分光反射率として予め算定された理論分光反射率を前記分光透過率によって補正する補正工程と、 前記補正工程にて補正された補正後理論分光反射率と前記分光反射率測定工程にて測定された実測分光反射率とを比較して測定対象の透明薄膜の膜厚を算出する膜厚算出工程と、 を備えることを特徴とする膜厚測定方法。
IPC (1件)：
G01B11/06
FI (1件)：
G01B11/06 Z
Fターム (29件)：
2F065AA30 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065BB22 ,  2F065CC19 ,  2F065CC21 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065DD11 ,  2F065EE00 ,  2F065FF41 ,  2F065FF46 ,  2F065GG02 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL00 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR09
引用特許：
出願人引用 (7件)
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