電気光学プローブ

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-275388
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050985
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】温度の変化によって電気光学素子の屈折率が変化しないように電気光学素子の温度を一定に保つことによって被測定信号の測定結果の精度を向上させることができる電気光学プローブを提供する。【解決手段】端面に反射膜を有し、この反射膜側の端面に設けられた金属ピンを介して電界が伝播されて光学特性が変化する電気光学素子を備える電気光学プローブにおいて、前記電気光学素子に接するように配置され、該電気光学素子の温度を検出してその結果を出力する温度検出部と、前記電気光学素子を中心として前記温度検出部と対向するように該電気光学素子に接するように配置され、温度検出結果に応じて、前記電気光学素子の温度を調整する温度調整部と、前記温度検出結果に基づいて、前記温度調整部を制御する温度制御部とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

オシロスコープ本体の制御信号に基づいてレーザ光を発するレーザダイオードと、前記レーザ光を平行光にするコリメートレンズと、端面に反射膜を有し、この反射膜側の端面に設けられた金属ピンを介して電界が伝播されて光学特性が変化する電気光学素子と、前記コリメートレンズと前記電気光学素子との間に設けられ、前記レーザダイオードが発したレーザ光を通過させ前記レーザ光が前記反射膜によって反射された反射光の分離をするアイソレータと、前記アイソレータによって分離された反射光を電気信号に変換するフォトダイオードと、からなる電気光学プローブにおいて、前記電気光学素子に接するように配置され、該電気光学素子の温度を検出してその結果を出力する温度検出部と、前記電気光学素子を中心として前記温度検出部と対向するように該電気光学素子に接するように配置され、温度検出結果に応じて、前記電気光学素子の温度を調整する温度調整部と、前記温度検出結果に基づいて、前記温度調整部を制御する温度制御部と、を備えたことを特徴とする電気光学プローブ。

IPC (4件)：

G01R 13/40 , G01R 1/06 , G01R 15/24 , G01R 31/302

FI (4件)：

G01R 13/40 , G01R 1/06 F , G01R 15/07 C , G01R 31/28 L

Fターム (8件)：

2G011AA01 , 2G025AB09 , 2G025AB11 , 2G025AB13 , 2G025AC06 , 2G025DA03 , 2G032AD07 , 2G032AF07

引用特許：

審査官引用 (4件)

電気信号測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-198360 出願人：日本電信電話株式会社
電圧測定装置のE-Oプローブ位置決め方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-054225 出願人：浜松ホトニクス株式会社, 財団法人光産業技術振興協会
集積回路の試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-030718 出願人：株式会社テラテック

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