特許

J-GLOBAL ID：200903026582089900

大型ペリクルの組立装置

発明者： 栗山 芳真 ,  脇元 一郎
出願人/特許権者： 旭化成電子株式会社
代理人 (3件)： 中川 周吉 ,  中川 裕幸 ,  飛田 高介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-137614
公開番号（公開出願番号）：特開2004-341225
出願日： 2003年05月15日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】本発明は、生産工程の作業効率を向上させると共に、確実な接着を可能とし、またペリクルの汚染を防止しうる組立装置を提供することを目的としている。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明に係る大型ペリクル用の組立装置の代表的な構成は、大型ペリクルの組立装置であって、載置したペリクル枠上を撮影する撮影手段と、前記撮影手段を移動させる移動手段と、前記撮影手段によって撮影した映像を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする。これにより、ペリクルに近接することなくペリクル枠上の接着剤の広がりを観察することができる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

大型ペリクルの組立装置であって、 載置したペリクル枠上を撮影する撮影手段と、 前記撮影手段を移動させる移動手段と、 前記撮影手段によって撮影した映像を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする大型ペリクルの組立装置。

IPC (1件)：

G03F1/14

FI (1件)：

G03F1/14 J

Fターム (2件)：

2H095BC31 ,  2H095BC34

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-180565   出願人：マイクロ・リソグラフィー・インコーポレーテッド
• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-114214   出願人：株式会社ニコン
• 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-211981   出願人：株式会社ニコン
• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-111340   出願人：株式会社ニコン