特許
J-GLOBAL ID：200903026623231210
走査型プロープ及びその製造方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
林 敬之助
, 林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-079861
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281657
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 形成される近接場光学測定用の微小開口部の均一性が良く、しかも原子間力顕微鏡観察等に用いた場合にも高い分解能を得ることのできるプローブ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 このプローブは、走査型プローブ顕微鏡に用いられる。本プローブは、自由端部及び固定端部(12)を有する可撓性カンチレバー部(10)と、自由端部に形成されカンチレバー部の一主面に立設された探針部(11)とを有する。光反射特性を有する金属膜(40)により一方及び他方の界面が被覆された光伝送層(30)によって探針部の先端近傍において光を入出力する光導波路が形成される。探針部形状に従って形成される光伝送層の外部露出開口部は、均一性が向上し、原子間力顕微鏡等におけるカンチレバーの動作を犠牲にしない。
請求項（抜粋）：
走査型プローブ顕微鏡に用いられるプローブであって、自由端部及び固定端部を有する可撓性カンチレバー部と、前記自由端部に形成され前記可撓性カンチレバー部の一主面に立設された探針部と、を有し、光反射特性を有する金属膜により一方及び他方の界面が被覆された光伝送層によって前記探針部の先端近傍において光を入出力する光導波路が形成されていることを特徴とするプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 E
, G01B 21/30 Z
