特許
J-GLOBAL ID：200903026915407590
複合部材の製造方法、感光性組成物、絶縁体、および複合部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-093668
公開番号（公開出願番号）：特開2002-290016
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 導電回路設計の自由度が高く、露光により絶縁体の劣化を生じず、かつ絶縁体への金属の異常析出がなく微細なパターンを有する導電部を容易に形成し得る複合部材の製造方法を提供する。【解決手段】 光酸発生剤と酸の存在下でイオン交換性基を生成する高分子化合物とを含有する感光性組成物層2を絶縁体1に形成する工程、感光性組成物層をパターン露光して、露光部4に酸を発生させる工程、パターン露光により露光部に発生した酸によりイオン交換性基を生成させる工程、及びパターン露光により形成されたイオン交換性基のパターンに金属イオン又は金属を結合させて導電部を形成する工程を具備する。高分子化合物は、イオン交換性基を有する第一の繰り返し単位と、酸に分解されずアルカリ不可溶性の基を有する第二の繰り返し単位とを含む共重合体で、イオン交換性基の少なくとも一部が保護基により保護されている。
請求項（抜粋）：
絶縁体に導電部が選択的に形成されてなる複合部材の製造方法であって、(1)光酸発生剤と、酸の存在下でイオン交換性基を生成する高分子化合物とを含有する感光性組成物層を前記絶縁体に形成する工程と、(2)前記感光性組成物層をパターン露光して、露光部に酸を発生させる工程と、(3)前記パターン露光により感光性組成物層の露光部に発生した酸によりイオン交換性基を生成させる工程と、(4)前記パターン露光により形成されたイオン交換性基のパターンに金属イオン又は金属を結合せしめて前記導電部を形成する工程とを具備し、前記高分子化合物は、イオン交換性基を有する第一の繰り返し単位と、酸により分解されずアルカリ不可溶性の基を有する第二の繰り返し単位とを含む共重合体であり、前記イオン交換性基の一部もしくは全部が保護基により保護されていることを特徴とする複合部材の製造方法。
IPC (9件)：
H05K 3/18
, C08K 5/00
, C08L101/02
, G03F 7/004 521
, G03F 7/38 512
, H01B 5/14
, H01B 13/00 503
, H05K 1/03 610
, H05K 3/38
H05K 3/18 C
, H05K 3/18 E
, C08K 5/00
, C08L101/02
, G03F 7/004 521
, G03F 7/38 512
, H01B 5/14 Z
, H01B 13/00 503 D
, H05K 1/03 610 Z
, H05K 3/38 A
2H025AA00
, 2H025AB15
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BH04
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H096AA00
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096FA05
, 2H096JA03
, 4J002BC121
, 4J002BK001
, 4J002CC031
, 4J002CC071
, 4J002CE001
, 4J002EB106
, 4J002EE037
, 4J002EH127
, 4J002EU186
, 4J002EV047
, 4J002EV296
, 4J002EV317
, 4J002EW176
, 4J002GP03
, 5E343AA02
, 5E343AA19
, 5E343AA34
, 5E343AA40
, 5E343BB24
, 5E343DD33
, 5E343DD34
, 5E343EE37
, 5E343ER04
, 5E343FF12
, 5E343FF16
, 5E343GG08
, 5G307GA06
, 5G307GA08
, 5G307GC02
, 5G323CA05
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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