特許
J-GLOBAL ID：200903026923616785

光学部材用石英ガラスブランク、その製造方法及びその使用

発明者：
ボド・キューン

ボド・キューン について

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ブルーノ・イェビング

ブルーノ・イェビング について

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マルチン・トゥロマー

マルチン・トゥロマー について

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シュテファン・オクス

シュテファン・オクス について

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ゲロ・フィッシャー

ゲロ・フィッシャー について

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ウラ・ホルスト

ウラ・ホルスト について


出願人/特許権者：
信越石英株式会社

信越石英株式会社 について

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ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト

ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト について


代理人 (1件)： 曾我 道照 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-353982
公開番号（公開出願番号）：特開2003-246641
出願日： 2002年12月05日
公開日（公表日）： 2003年09月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 波長250nm以下の紫外線透過用光学部材のための石英ガラスブランク、及び波長250nm以下の紫外線と組み合わせたマイクロリソグラフィーにおける石英ガラスブランクの使用に関する。さらに、石英ガラスブランクの製造方法に関する。【解決手段】 石英ガラスブランクは、本質的に酸素欠陥部位のないガラス構造、0.1×1016分子/cm3〜4.0×1016分子/cm3のH2含有量、125重量ppm〜450重量ppmのOH含有量、5×1016分子/cm3未満のSiH基含有量、2ppm未満の屈折率不均質性Δn、及び2nm/cm未満のひずみ複屈折の特性を有する。方法は、2つの石英ガラスの混合によって第一および第二の石英ガラスから混合石英ガラスを生成させることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
波長250nm以下の紫外線透過光学部材のための石英ガラスブランクであって、本質的に酸素欠陥部位のない構造、0.1×1016分子/cm3〜4.0×1016分子/cm3のH2含有量、125重量ppm〜450重量ppmのOH含有量、5×1016分子/cm3未満のSiH基含有量、2ppm未満の屈折率不均質性Δn及び2nm/cm未満のひずみ複屈折を特徴とする石英ガラスブランク。
IPC (3件)：
C03C 3/06 ,  C03B 8/04 ,  C03B 20/00
FI (4件)：
C03C 3/06 ,  C03B 8/04 C ,  C03B 8/04 L ,  C03B 20/00 F
Fターム (58件)：
4G014AH15 ,  4G014AH21 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM02 ,  4G062NN01 ,  4G062NN16
引用特許：
審査官引用 (4件)
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