特許
J-GLOBAL ID：200903026985018183

黒色低熱膨張セラミックスおよび露光装置用部材

発明者：
吉富 靖樹

吉富 靖樹 について

, 
荒堀 忠久

荒堀 忠久 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-015409
公開番号（公開出願番号）：特開2002-220277
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：
【要約】【課題】 低熱膨張性、剛性および耐磨耗性を兼ね備え、さらに低抵抗であり、黒色を呈するセラミックスを提供する。【解決手段】 該セラミックスは、(a)コーディエライト、スポジューメンおよびユークリプタイトよりなる群から選ばれた少なくとも1種、(b)カーボン、ならびに(c)4a族元素、5a族元素および6a族元素の炭化物、窒化物、ホウ化物およびケイ化物ならびに炭化ケイ素、炭化ホウ素および窒化ケイ素よりなる群から選ばれた少なくとも1種を含有する。成分(a)、(b)および(c)の含有率はそれぞれ、57vol%〜99.89vol%、0.01vol%〜3.0vol%、および0.1vol%〜40vol%である。このセラミックスにおいて、気孔率は0.5%以下であり、体積固有抵抗率は108Ωcm以下であり、10°C〜40°Cにおける熱膨張係数は1×10-6/°C以下である。
請求項（抜粋）：
コーディエライト、スポジューメンおよびユークリプタイトよりなる群から選ばれた少なくとも1種を57vol%〜99.89vol%、カーボンを0.01vol%〜3.0vol%、4a族元素、5a族元素および6a族元素の炭化物、窒化物、ホウ化物およびケイ化物ならびに炭化ケイ素、炭化ホウ素および窒化ケイ素よりなる群から選ばれた少なくとも1種を0.1vol%〜40vol%含有し、気孔率が0.5%以下、体積固有抵抗率が108Ωcm以下、10°C〜40°Cにおける熱膨張係数が1×10-6/°C以下であることを特徴とする黒色低熱膨張セラミックス。
IPC (4件)：
C04B 35/195 ,  C04B 35/19 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
H01L 21/68 N ,  C04B 35/16 A ,  C04B 35/18 A ,  H01L 21/30 503 A
Fターム (25件)：
4G030AA02 ,  4G030AA07 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA45 ,  4G030AA46 ,  4G030AA47 ,  4G030AA49 ,  4G030AA52 ,  4G030AA54 ,  4G030AA60 ,  4G030BA19 ,  4G030BA24 ,  4G030CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031MA27 ,  5F031PA26 ,  5F046AA28 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046DA30
引用特許：
審査官引用 (11件)
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