特許

J-GLOBAL ID：200903027058678121

光導波路デバイス及びその製造方法

発明者： 羽根 一博 ,  金森 義明
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (6件)： 重信 和男 ,  内野 春喜 ,  清水 英雄 ,  高木 祐一 ,  中野 佳直 ,  秋庭 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-043834
公開番号（公開出願番号）：特開2008-268891
出願日： 2008年02月26日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：

【課題】小型で応答性に優れ、製作も容易なシリコン細線導波路を用いた能動光導波路デバイスを提供する。【解決手段】基板に固定された入力側シリコン細線導波路と、基板に固定された出力側シリコン細線導波路と、該入力側シリコン細線導波路及び出力側シリコン細線導波路の間に第1及び第2の支持梁により支持され基板から浮いて配置された中間シリコン細線導波路と、該中間シリコン細線導波路を移動させることで、入力側及び出力側シリコン細線導波路と中間シリコン細線導波路の光結合により生じる光の伝搬量を変化させる駆動機構とを備えた光導波路デバイス及びその製造方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に固定された入力側シリコン細線導波路と、基板に固定された出力側シリコン細線導波路と、該入力側シリコン細線導波路及び出力側シリコン細線導波路の間に第1及び第2の支持梁により支持され基板から浮いて配置された中間シリコン細線導波路と、該中間シリコン細線導波路を移動させることで、入力側及び出力側シリコン細線導波路と中間シリコン細線導波路の光結合により生じる光の伝搬量を変化させる駆動機構とを備えた光導波路デバイス。

IPC (3件)：

G02B 26/02 ,  G02B 26/08 ,  G02B 6/12

FI (3件)：

G02B26/02 F ,  G02B26/08 F ,  G02B6/12 H

Fターム (30件)：

2H141MA02 ,  2H141MA15 ,  2H141MA16 ,  2H141MA18 ,  2H141MB34 ,  2H141MB58 ,  2H141MC07 ,  2H141MD03 ,  2H141MD05 ,  2H141ME01 ,  2H141ME06 ,  2H141MF02 ,  2H141MF28 ,  2H141MG01 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ20 ,  2H141MZ26 ,  2H147AB02 ,  2H147AB32 ,  2H147AC01 ,  2H147EA13C ,  2H147EA14A ,  2H147EA14B ,  2H147FC01 ,  2H147FC04 ,  2H147FC05 ,  2H147FC08 ,  2H147FE07 ,  2H147GA10

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 光スイッチ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-359418   出願人：三星電機株式会社
• 光遅延装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-023780   出願人：日本電信電話株式会社
• 導波路型光スイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-152783   出願人：日立電線株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Low Loss Intersection of Si Photonic Wire Waveguides