特許
J-GLOBAL ID：200903027131322675
カソードルミネッセンス分析装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-258588
公開番号（公開出願番号）：特開2004-093526
出願日： 2002年09月04日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】分析のための操作がきわめて簡単であり、電子光学系を複雑にすることがなく、また、信号処理系に高価なロックインアンプなどを組み込む必要がない安価で使い勝手の優れたカソードルミネッセンス分析装置を提供すること。【解決手段】電子銃13から電子線eを試料21に照射したときに当該試料21から発生するカソードルミネッセンス23を検出器によって検出するようにしたCL分析装置において、前記電子銃13からの電子線放出方向11が前記電子銃13と試料21とを結ぶ直線と角度を有していることを特徴としている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電子銃から電子線を試料に照射したときに当該試料から発生するカソードルミネッセンスを検出器によって検出するようにしたカソードルミネッセンス分析装置において、前記電子銃からの電子線放出方向が前記電子銃と試料とを結ぶ直線と角度を有していることを特徴とするカソードルミネッセンス分析装置。
IPC (3件)：
G01N21/62
, H01J37/147
, H01J37/252
G01N21/62 A
, H01J37/147 B
, H01J37/252 Z
2G043AA01
, 2G043CA05
, 2G043EA11
, 2G043FA02
, 2G043GA02
, 2G043GB03
, 2G043HA05
, 2G043LA01
, 2G043MA01
, 5C033RR01
, 5C033RR02
, 5C033RR03
, 5C033UU01
, 5C033UU02
, 5C033UU03
