特許
J-GLOBAL ID：200903027203235586

露光装置および露光方法

発明者：
笠間 邦彦

笠間 邦彦 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 桑井 清一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345162
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183201
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 光リソグラフ技術において、通常照明方法および斜入射照明方法よりも解像力、焦点深度をさらに向上させる露光方法および露光装置を提供する。【構成】 斜入射露光を、ウェーハ面およびパターン方向に平行な直線偏光を用いて行う。輪帯照明、4点照明等のアパーチャー開口部の対向する部分に、TE偏光波を出すように偏光子を挿入する。または、初めから偏光した光を発振するレーザ光を分割し、斜入射照明用に配置し、偏光を揃えても良い。
請求項（抜粋）：
光源からの光線がレチクルに対して斜めに入射される斜め入射手段を有する露光装置にあって、上記光線を直線偏光光とする偏光子を備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (2件)：
H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527
引用特許：
審査官引用 (4件)
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