特許
J-GLOBAL ID：200903027289959328

ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法

発明者：
井上 剛志

井上 剛志 について

, 
蛯原 明光

蛯原 明光 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-309778
公開番号（公開出願番号）：特開2007-123332
出願日： 2005年10月25日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】省スペースかつ接続ケーブルの断線の虞がない位置検出系を有するステージ装置を提供する。 【解決手段】ステージ装置50は、ベース59と、ベース59に対して所定方向に移動可能な移動テーブル52,54と、ベース59に設けられ所定方向に沿って配置されたリニアスケール81と、移動テーブル52,54とに設けられリニアスケール81と対向するように配置されてリニアスケール81の読取を行う読取ヘッド82と、リニアスケール81に沿って配置された電力供給装置71と、移動テーブル52,54とに設けられ電力供給装置71から読取ヘッド82の作動に用いる電力を非接触で受給する電力受給装置76と、読取ヘッド82がリニアスケール81から読み取った読取情報に基づいて移動ステージ52,54との位置決め制御を行う制御部と、を備える。 【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ベースと、 前記ベースに対して所定方向に移動可能な移動テーブルと、 前記ベースに設けられ前記所定方向に沿って配置されたリニアスケールと、 前記移動テーブルに設けられ前記リニアスケールと対向するように配置されて前記リニアスケールの読取を行う読取ヘッドと、 前記リニアスケールに沿って配置された電力供給装置と、 前記移動テーブルに設けられ前記電力供給装置から前記読取ヘッドの作動に用いる電力を非接触で受給する電力受給装置と、 前記読取ヘッドが前記リニアスケールから読み取った読取情報に基づいて前記移動ステージの位置決め制御を行う制御部と、 を備えることを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (3件)：
H01L21/30 516B ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515G
Fターム (3件)：
5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC17
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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