特許
J-GLOBAL ID：200903027535314439

研磨布

発明者：
羽場 真一

羽場 真一 について

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戸田 智之

戸田 智之 について

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杉田 豊治

杉田 豊治 について

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吉田 光一

吉田 光一 について


出願人/特許権者：
ニッタ・ハース株式会社

ニッタ・ハース株式会社 について


代理人 (3件)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-138583
公開番号（公開出願番号）：特開2006-319045
出願日： 2005年05月11日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】 使用寿命が長く、ノッチ部に傷を発生させない研磨布を提供する。【解決手段】 基材である不織布に樹脂を付着させ、密度の好適範囲を0.3g/cm3〜0.6g/cm3とし、硬さの好適範囲をアスカーC硬度で60〜90とする。基材である不織布としては、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、ポリプロピレン繊維、ポリビニルアルコール繊維、ポリ(p-フェニレンテレフタルアミド)繊維から成る群より選ばれる1種以上を含むことが好ましく、付着させる樹脂としては、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂から成る群より選ばれる1種以上を含むことが好ましい。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
基材である不織布に樹脂を付着させた研磨布であって、密度が0.3g/cm3〜0.6g/cm3であり、硬さがアスカーC硬度で60〜90であることを特徴とする研磨布。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  B24B 37/00
FI (3件)：
H01L21/304 622F ,  H01L21/304 621E ,  B24B37/00 C
Fターム (4件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB02 ,  3C058DA12
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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