特許
J-GLOBAL ID：200903027739321396

微小電気機械光スイッチ及びその製造方法

発明者：
ナン・ツァン

ナン・ツァン について


出願人/特許権者：
エーデーシー・テレコミュニケーションズ・インコーポレーテッド

エーデーシー・テレコミュニケーションズ・インコーポレーテッド について


代理人 (1件)： 下田 容一郎 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-516008
公開番号（公開出願番号）：特表2003-506755
出願日： 2000年08月01日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：
【要約】改善された特性を有するMEMSに基づく光スイッチ(100)とそれを製造する方法が開示されている。一実施例に従った光スイッチは、偏向ビーム構造(124)を有する単一櫛(122)形ドライブ・アクチュエータ(104)と、該アクチュエータと結合されたミラー(102)とを含む。ミラーは、導波路チャネル(106)間に介在される拡張位置と該導波路チャネル(106)から離間された格納位置との間を移動させられ得る。アクチュエータは、前記ビーム構造を偏向できると共に、前記拡張位置或は前記格納位置の内の一方へ前記ミラーを移動できる力を付与し、前記ビーム構造は、前記力の付与がない場合に、前記拡張位置或は前記格納位置の内の他方へ前記ミラーを戻す。
請求項（抜粋）：
基板上にミラーを形成する方法であって、 前記基板の第1領域と、該第1領域の両側方にそれぞれ隣接する前記基板の2つの側方領域とを被覆するパターニングされたマスキング層を前記基板上に形成し、 前記パターニングされたマスキング層を用いて前記基板の被覆されていない部分を除去して、前記第1基板領域内に第1隆起構造を残すと共に、該第1隆起構造に隣接する各側方基板領域上に2つの犠牲隆起構造を残し、 前記第1隆起構造を無傷のまま残す一方で、前記犠牲隆起構造を選択的に除去し、 前記第1隆起構造の側壁上に反射面を形成することを含む方法。
IPC (3件)：
G02B 26/02 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
FI (3件)：
G02B 26/02 E ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
Fターム (7件)：
2H041AA04 ,  2H041AA06 ,  2H041AB13 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (4件)
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