特許
J-GLOBAL ID：200903027794582212
静電吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-270163
公開番号（公開出願番号）：特開2004-111533
出願日： 2002年09月17日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】本発明は、被処理体との間の熱伝導の低下を防止すると共に、部品のコストダウンを図ることができる静電吸着装置を提供する。【解決手段】静電吸着装置は、導線8を介して外部の可変直流電源9に接続された電極5と、電極5を覆うと共に誘電体から成る保護膜6とを備え、該保護膜6が電極5における被処理体2の載置面以外の面に形成されている。保護膜6に用いられる誘電体は、クオーツ(水晶)やポリイミド樹脂、セラミック(例えば、アルミナ(Al2O3)、窒化アルミニウム(AlN)、酸化亜鉛(Zn2O3)、及びボロンナイトライド(BN,PBN))等から成る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電極と、当該電極を覆うと共に誘電体から成る保護膜とを備え、被処理体を静電気力により吸着保持する静電吸着装置において、前記保護膜は、前記電極における前記被処理体の載置面以外の面に形成されていることを特徴とする静電吸着装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA02
, 5F031HA17
, 5F031HA38
, 5F031MA32
, 5F031PA30
