吸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-210192
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035907
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】絶縁性の基板を吸着できる吸着装置を提供する。【解決手段】表面が絶縁されている基体10上に第1、第2の電極11、12を露出して設け、絶縁性の基板が第1、第2の電極表面に接触するか、非常に近接して配置されるようにする。第1、第2の電極間には、空間変化率の大きな電場が形成されるので、グラディエント力により、基板7は吸着装置1表面に吸着される。グラディエント力の大きさは電場の変化率の大きさに依存しているので、第1、第2の電極11、12間に電圧を印加し、1.0×106V/m以上の電場を形成するとよい。

請求項（抜粋）：

板状の基体と、前記基体表面に互いに絶縁した状態で配置され、第1の電圧が印加される第1の電極と、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧が印加される第2の電極とを有することを特徴とする吸着装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , C23C 14/50 , H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/68 R , C23C 14/50 A , H01L 21/205

Fターム (11件)：

4K029JA05 , 5F031CA02 , 5F031HA10 , 5F031HA18 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031NA05 , 5F045EM02 , 5F045EM05 , 5F045EM08 , 5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (5件)

静電チャック及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-162412 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
誘電性基板のような基板用の低電圧静電クランプ
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-523888 出願人：ラムリサーチコーポレイション
ホットプレート、及び真空加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-345930 出願人：日本真空技術株式会社

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