特許
J-GLOBAL ID：200903027927604966
マイクロメカニカル回転速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-556209
公開番号（公開出願番号）：特表2002-519625
出願日： 1999年04月08日
公開日（公表日）： 2002年07月02日
要約：
【要約】本発明は、静電駆動部(4、5、6)と、回転速度(rpm)読取部との間の電気力結合が軽減されたコリオリの原理に基づくマイクロメカニカル回転速度(rpm)センサに関するものである。層状に、一方が他方の上に位置するように配置された振動子(7、8)は、リンク(17、18および15、16)を介して、平板状支持部(9、11)と、平板状駆動部(4、6)との間に懸吊されている。上記駆動部(4、6)間には、平板状の固定素子が配置され、該駆動部(4、6)に対し、振動子(7、8)間の距離よりはるかに小さい駆動ギャップを規定する。本発明は、また、上記2つの平板状支持部(9、11)間に形成され、フレーム(2)と電気的に絶縁されている中間支持部(10)に関するものである。
請求項（抜粋）：
層状に、一方が他方の上に位置するように配置され、2つの平面間で、静電駆動部(4、5、6)を介して、上記平面に垂直な方向に、振動が励起される2つの平板状の振動子(7、8)を備えたコリオリの原理に基づくマイクロメカニカル回転速度センサにおいて、 上記振動子(7、8)は、それぞれ少なくとも1つの細いスプリングウェブ(17、18および15、16)を介して、駆動軸方向の互いに対向する両側辺における、一方の側辺側の上記振動子(7、8)と同一平面上に設けられた平板状支持部(9、11)と、他方の側辺側の上記駆動部(4、5、6)のうちの上記振動子(7、8)と同一平面上に設けられた対応する平板状駆動部(4、6)との間に懸吊されており、 信号の読み取りが上記平板状支持部(9、11)を介して行われ、 上記一方の側辺側に設けられた2つの支持部(9、11)および他方の側辺側に設けられた2つの駆動部(4、6)は、それぞれ、一方が他方の上に位置するように、上下に間隔をあけて層状に配置されており、 上記駆動部(4、6)間には、平板状の固定素子(5)が配置され、該駆動部(4、6)それぞれに対し、振動子(7、8)間の距離よりはるかに小さい駆動ギャップを規定することを特徴とするマイクロメカニカル回転速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2F105BB03
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
